000			00383nam a2200145Ia 4500
008			230917s9999||||xx |||||||||||||| ||und||
040			_e5020 _aMAIN
041			_aEnglish
082			_a621.38173 E67V
100			_aEinspruch, Norman G, ed.
245		0	_aVLSI electronics: micro structure science
260			_aNew York _bAcademic Press _c1982
300			_axii, 404 p.
942			_cBK
999			_c41675 _d41675